經典實驗-薄膜/極片-銅薄膜鍍膜基片做蒸鍍鋁實驗
發布時間：2020-07-16
科晶實驗室對GSL-1700X-SPC-2設備做了一系列實驗研究：
設備連接和基片安裝：
坩堝配件安裝：
實驗：銅薄膜鍍膜基片做蒸鍍鋁實驗
結論：1250℃、30min蒸鍍條件下銅箔表面表現銀白色，且厚度增加了2μm。
蒸鍍材料 | 抽真空時間 | 真空度torr | 200℃電流 | 蒸鍍時電流 | 蒸鍍溫度 | 蒸鍍時間 | 現象 |
鋁 | 1h | 9.51X10-5 | 約10mA | 約18mA | 1050℃ | 300s | 起初表面暗淡后邊面泛白 |
鋁 | 1.5h | 6.51X10-5 | 約10mA | 約18mA | 1070℃ | 600s | 表面金屬白 |
鋁 | 1.5h | 3.71X10-5 | 約10mA | 約18mA | 1150℃ | 300s | 銀白 |
鋁 | 1.5h | 3.71X10-5 | 約10mA | 約20mA | 1230℃ | 300s | 表面暗淡 |
鋁 | 1.5h | 3.71X10-5 | 約10mA | 約20mA | 1300℃ | 300s | 表面發暗 |
實驗結束后利用千分尺測量厚度，確定鋁箔厚度，結果如下：
形貌 | 厚度 | 厚度值 | |
蒸鍍前 |
|
| 0.011mm |
蒸鍍后 |
|
| 0.013mm |
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