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  • 800℃ CSS/RTP快速熱蒸鍍爐(配5英寸旋轉樣品臺)
  • 1200℃雙溫區4坩堝分體式HPCVD爐(帶進樣系統)
  • Ta箔
  • 滴料器
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  • 導向輪
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  • 三靶磁控濺射儀
  • 500℃真空熱壓機
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