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ZnO+Pt+Ti
- 型號：
- ZnO+Pt+Ti
- 產品概述：
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| 技術參數
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基底 | Si，<100>，P型摻B，4"x~525um，1sp | 膜層 | ZnO膜：c軸，<001> ZnO = 150nm， Pt膜：<111> Pt = 150nm Ti（膠層）= 20-40nm | 電阻率 | 1-10 ohm.cm | 基材尺寸 | 4"±0.5mmx0.525mm | 拋光情況 | 單拋 | 表面粗糙度 | Ra<20 A RMS | Pt膜的最大熱預算 | ~750℃/ h |
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