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Al2O3+AlN薄膜
產品概述:
AlN Epitxial范本saphhire提出了氫化物氣相外延(HVPE)的方法。氮化鋁薄膜又是成本效益的方法,用來取代氮化鋁單晶襯底。科晶真誠歡迎您的垂詢!
免責聲明: 本站產品介紹內容(包括產品圖片、產品描述、技術參數等)僅用于宣傳用途,僅供參考。由于更新不及時和網站不可預知的BUG可能會造成數據與實物的偏差,請勿復制或者截圖。如果您對參數有異議,或者想了解產品詳細信息及更多參數,請與本公司銷售人員聯系。本站提供的信息不構成任何要約或承諾,請勿將此參數用于招標文件或者合同,科晶公司會不定期完善和修改網站任何信息,恕不另行通知,請您諒解。 如果您需要下載產品的電子版技術文檔,說明書(在線閱覽),裝箱單,與售后安裝條件等文件,請點擊上方的附件下載模塊中選取。商城產品僅針對大陸地區客戶,購買前請與工作人員溝通,以免給您帶來不便。
技術參數產品視頻實驗案例警示/應用提示配件詳情
產品名稱

氮化鋁(AlN)薄膜

產品簡介

AlN Epitxial范本saphhire提出了氫化物氣相外延(HVPE)的方法。氮化鋁薄膜又是成本效益的方法,用來取代氮化鋁單晶襯底。科晶真誠歡迎您的垂詢!


技術參數

藍寶石襯底取向:

c軸(0001)±1.0deg

襯底:

Al2O3;SiC;GaN

薄膜厚度:

10-5000nm

導電類型:

半絕緣型

位錯密度:

XRD FWHM of <0002><500arcsec

XRD FWHM of <10-12><1500arcsec;

有效面積:

>80%


產品規格

氮化鋁(藍寶石襯底):dia2"±1mm x1500nm±10%,單拋;

注:可根據客戶需求定制特殊的方向和尺寸。


標準包裝

1000級超凈室100級超凈袋

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