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1200℃三溫區(qū)雙管CVD爐 （制備石墨烯薄膜）
- 關(guān)鍵字：
- 真空、電阻絲、開啟式
- 型號(hào)：
- OTF-1200X-III-D5- 4
- 產(chǎn)品概述：
- OTF-1200X-5-III-D4 是一款三溫區(qū)的雙管爐，其最高工作溫度可以達(dá)到1200℃，專門針對(duì)于用CVD方法在金屬箔上生長薄膜物質(zhì)，如石墨烯、太陽能電池的電極材料和電池電極材料等。
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技術(shù)參數(shù)產(chǎn)品視頻實(shí)驗(yàn)案例警示/應(yīng)用提示配件詳情
| 特征
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石英爐管: 外管直徑為 130 mm，內(nèi)管直徑為101mm,使用時(shí)把金屬箔附在內(nèi)管壁上 特殊的真空法蘭可以使反應(yīng)氣體通過兩管之間冷卻氣體可以從內(nèi)管通過，對(duì)基底進(jìn)行快速冷卻 最高工作溫度: 1200°C（點(diǎn)擊圖片查看詳細(xì)資料）
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| 爐體結(jié)構(gòu)
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三個(gè)加熱溫區(qū)總長: 900mm（36"） 溫區(qū) 1: 229mm (9") 溫區(qū)2: 457mm (18.0") 溫區(qū)3: 229 mm (9") 恒溫區(qū)：625mm(三個(gè)溫區(qū)設(shè)置同樣的溫度） 注：由于測(cè)量手段及外部環(huán)境的影響，測(cè)量結(jié)果可能會(huì)有偏差，此參數(shù)僅供參考不作為該設(shè)備的技術(shù)指標(biāo)。您購買產(chǎn)品需要準(zhǔn)確的恒溫區(qū)數(shù)據(jù)，請(qǐng)與我公司銷售人員聯(lián)系 恒溫精度： +/- 1°C 三個(gè)溫區(qū)采用PID50段程序化獨(dú)立控制 控溫精度： +/- 1° C 最高工作溫度：1200℃ 連續(xù)使用溫度：1100℃ 推薦升溫速率: <= 20°C /min
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| 爐膛
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內(nèi)爐膛表面涂有美國進(jìn)口的高溫氧化鋁涂層可以提高設(shè)備的加熱效率，同時(shí)也可以延長儀器的使用壽命 |
| 電源
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| 爐管
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| 爐體尺寸
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1030 x 430 x 580 mm |
| 凈重
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90 kg |
| 質(zhì)保期
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一年質(zhì)保期（不包含爐管，加熱元件和密封圈損耗件）
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| 使用注意事項(xiàng)
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爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa 由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高，所以向爐管內(nèi)通入氣體時(shí)，氣瓶上必須安裝減壓閥，建議在本公司選購減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時(shí)會(huì)更加精確安全 當(dāng)爐體溫度高于1000℃時(shí)，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)，爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng)，保持在常壓狀態(tài) 進(jìn)入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的大氣流對(duì)加熱石英管的沖擊 石英管的長時(shí)間使用溫度＜1100℃ 對(duì)于樣品加熱的實(shí)驗(yàn)，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對(duì)樣品加熱，則需時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa，必須立刻打開泄氣閥，以防意外發(fā)生（如爐 管破裂，法蘭飛出等）
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