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1200℃三溫區(qū)開啟式立式管式爐
關(guān)鍵字:
三溫區(qū)
型號:
OTF-1200X-III-VT
產(chǎn)品概述:
OTF-1200X-III-VT是一款三溫區(qū)的立式管式爐,最高溫度可達到1200℃。此款管式爐不僅可在真空或氣氛保護環(huán)境下對樣品進行快速地?zé)崽幚砗痛慊穑瑫r也可用PVD、CSS和CVD方法來制作薄膜。三個溫區(qū)分別由三個獨立的溫控系統(tǒng)來控制,每個溫區(qū)可設(shè)置50段升降溫程序,其控溫精度為+/-1℃,爐體下端安裝有一移動爐架,以便于設(shè)備移動。
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技術(shù)參數(shù)產(chǎn)品視頻實驗案例警示/應(yīng)用提示配件詳情
名稱

1200℃三溫區(qū)開啟立式爐-OTF-1200X-VT-III

爐體結(jié)構(gòu)

l采用雙層殼體結(jié)構(gòu)并帶有風(fēng)冷系統(tǒng)

l爐體設(shè)計為開啟式,以方便與更換爐管

l采用高純氧化鋁作為爐膛材料,爐膛表面涂有美國進口高溫氧化鋁涂層可以提高加熱效率和爐膛使用壽命


基本參數(shù)

溫度:長期1100℃ (1200℃<1h)

建議升溫速率:≤10℃/min

熱偶:K型熱偶    

電壓:AC208-240,50Hz  


最大功率: 7KW


爐管尺寸

以下幾種尺寸的高純度石英管可選:


lOD:Φ50 mm×L1000mm


lOD:Φ60 mm×L1000mm


lOD:Φ80 mm×L1000mm


lOD:Φ100 mm×L1000mm


加熱區(qū)

加熱區(qū)長度:900mm (三溫區(qū)300+300+300mm)

加熱元件

摻鉬鐵鉻鋁(表面涂有氧化鋯涂層,可以極大程度延長使用壽命)

溫控系統(tǒng)

l包含一款YD858P型溫度控制器


lPID自動控溫系統(tǒng)


l智能化50段可編程控制


l控溫精度:±1℃


l默認DB9 PC通信連接端口


l可選購電腦溫度控制軟件(用于YD858P系列控制器)用于控制升溫曲線和導(dǎo)出數(shù)據(jù)。


密封法蘭

1.上端法蘭上焊有一吊環(huán),以方便用高溫絲將樣品吊在爐管中進行燒結(jié)

2.可選:本公司生產(chǎn)的帶鉸鏈?zhǔn)椒ㄌm和進口的防腐型數(shù)字式真空計

  

3.多種接頭可選,具體請咨詢銷售部


外形尺寸

 1300(L)×630(W)×1780(H)(2019.11.14--JS2)


質(zhì)保期

一年保修,終身技術(shù)支持。


特別提示:1.耗材部分如加熱元件,石英管,樣品坩堝等不包含在內(nèi)。

2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。


點擊查看售后服務(wù)承諾書。


真空系統(tǒng)

l通過機械泵可達到10E-2 Torr.參考值,具體請點擊

l通過分子泵泵可達到10E-5 Torr.參考值,具體請點擊

l漏氣率< 5 mTorr / min.參考值,具體請點擊


質(zhì)量認證

·此產(chǎn)品已通過CE認證

  證書編號: M.2021.206.C67997

·若客戶出認證費用,本公司保證單臺設(shè)備通過德國TUV認證或CAS認證



使用注意事項

爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa。

由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高,所以向爐管內(nèi)通入氣體時,氣瓶上必須安裝減壓閥,為了確保安全,建議使用壓力低于0.02MPa,建議在本公司選購減壓閥,本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全。

石英管的長時間使用溫度<1100℃。

當(dāng)爐體溫度高于1000℃時,爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài),爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng)。

進入爐管的氣體流量需小于200SCCM,以避免冷的氣流對熱爐管的沖擊。

對于樣品加熱的實驗,不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對樣品加熱,則需時刻關(guān)注壓力表的示數(shù),若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa,必須立刻打開泄氣閥,以防意外發(fā)生(如爐 管破裂,法蘭飛出等)


免責(zé)聲明

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