| 雙重石英管結(jié)構(gòu) | · 高純石英管 · 內(nèi)爐膛表面涂有美國(guó)進(jìn)口的高溫氧化鋁涂層可以提高設(shè)備的加熱效率，同時(shí)也可以延長(zhǎng)儀器的使用壽命 · 外管尺寸: 279?O.D?x?269?I.D?x?1300mm?Length?(11"?O.D?x?10.6"?I.D?x?48"?L),兩端打開(kāi)，可以連接法蘭 · 內(nèi)管尺寸 : 216?OD?x?206?IDx?750?mm?Length?(8.5"OD?x?8.1"ID?x30"L),一端封閉另一端連接到氣體入口和出口. 請(qǐng)點(diǎn)擊下圖可查看爐管及法蘭安裝
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| 殼體結(jié)構(gòu) | · 采用雙層殼體結(jié)構(gòu)，并帶有風(fēng)冷 · 保溫材料采用高純氧化鋁纖維，環(huán)保節(jié)能，可以最大程度的減少熱量的損失. · 加熱元件: NiCrAl電阻絲 · 儀器中包含兩個(gè)石英管塞，設(shè)備在加熱前必須放入爐管內(nèi)，防止熱量以熱輻射的形式散失 · 如果使用內(nèi)管進(jìn)行薄膜的生長(zhǎng)，那么最大可在8英寸的基片上
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| 加熱區(qū) | · 總加熱區(qū)長(zhǎng)度： 900 mm (36") 三個(gè)溫區(qū): 300 mm + 300 mm + 300mm (12" per zone) |
| 工作溫度 | · 最高工作溫度 1100°C ( < 1 hour ) · 正常工作溫度: 200~1000°C · 最大升溫速率& 降溫速率: 10°C/min 溫度均勻性（請(qǐng)點(diǎn)擊查看）
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| 溫控系統(tǒng) | · 三個(gè)精密溫度控制器，采用PID方式控溫，并可設(shè)置50段升降溫程序，每個(gè)溫區(qū)可以進(jìn)行獨(dú)立控溫 · 控溫儀表操作視頻 · 熱電偶: 三根 K型omega原裝熱電偶，每個(gè)溫區(qū)各一根 · 控溫精度: +/- 1°C · SRC (Silicon?Controlled?Rectifier) power control 可選：PC控溫軟件，將溫度曲線(xiàn)和程序?qū)氲诫娔X中（另購(gòu)）
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| 真空密封法蘭 | · 儀器中包含有一對(duì)不銹鋼真空密封法蘭，采用硅膠密封圈密封 · 真空度可以達(dá)到10^-2 torr（用機(jī)械泵） · 左側(cè)法蘭：包括 化學(xué)汽相淀積進(jìn)氣口和冷卻氣體in&out端口 右側(cè)法蘭: KF40真空接口和， KF40真空閥門(mén)直接于KF-40波紋管和真空泵相連接，（如想泵和KF-25接口相連接，需要另購(gòu)一個(gè)KF-40轉(zhuǎn)KF-25接頭）
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| 電壓 | · 單相 220V AC, 50/60 Hz 包含電源線(xiàn)插頭AWG 8# |
| 最大功率 | 12KW (需50A空氣開(kāi)關(guān)) |
| 外形尺寸 | · 1300 L x 623 W x 940 H mm (51" L x 24.5" W x 37" H) (不包含真空法蘭） · 1670 L x 623 W x 940 H mm (66" L x 24.5" W x 37" H) (包含真空密封法蘭) |
| 凈重 | 200kg |
| 運(yùn)輸尺寸 | 70" x 70" x 65" |
| 運(yùn)輸重量 | 500Lbs (227kg) |
| 質(zhì)保期 | 一年質(zhì)保期，相關(guān)耗材除外，如爐管密封圈，加熱元件等易耗件 |
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