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Al2O3+YBCO薄膜10x10x0.5 mm
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| Main Specifications of HTS Film
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Epitaxial thin Film Composition | <100> YBCO | Film dimension both for one side or double side film | YBCO / LaAlO3 10x10 mm ~ 3" dia. YBCO / LSAT 10x10 mm ~ 2" dia. YBCO / Al2O3 10x10 mm ~3" dia YBCO / STO 10x10 mm ~ 1" dia. | Epitaxial FWHM | < 0.2 o | Critical Transition Temperature Tc | > 90 K | Transition Temp. range ΔTc | < 0.5 K | Critical Current Jc | 2~3 MA/cm2 @ 77K 0T | Surface Resistivity Rs | < 1 m Ohm @ 10 GHz, 77K, 0T | Thin film thickness | 200 ~ 500 nm upon request , | Uniformity for 2" wafer | Thickness 400 nm +/- 10 % Tc 90K +/- 1 o Jc 3 +/-0.5 MA/cm2 @ 80% wafer center. | Package | Sealed in Vacuum in a plastic box and bag. |
Double side 3" YBCO film on LaAlO3 Jc Uniformity measured FZK XRD pattern of Epi YSCO Film on LAO Note: YBCO is very sensitive to moisture, and must be stored in desiccator box.
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