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1500℃六溫區開啟式管式爐(Φ60剛玉管&不銹鋼水冷密封法蘭)
型號:
OTF-1500X-6Z
產品概述:
OTF-1500X-6Z是一款6溫區開啟式管式爐,剛玉管和不銹鋼密封法蘭,最高溫度可達1500℃。六個獨立的溫控系統,采用S型熱電偶,控溫精度為?+/ - 1°C。此款設備可非常好地用于高溫CVD和熱處理應用。
免責聲明: 本站產品介紹內容(包括產品圖片、產品描述、技術參數等)僅用于宣傳用途,僅供參考。由于更新不及時和網站不可預知的BUG可能會造成數據與實物的偏差,請勿復制或者截圖。如果您對參數有異議,或者想了解產品詳細信息及更多參數,請與本公司銷售人員聯系。本站提供的信息不構成任何要約或承諾,請勿將此參數用于招標文件或者合同,科晶公司會不定期完善和修改網站任何信息,恕不另行通知,請您諒解。 如果您需要下載產品的電子版技術文檔,說明書(在線閱覽),裝箱單,與售后安裝條件等文件,請點擊上方的附件下載模塊中選取。商城產品僅針對大陸地區客戶,購買前請與工作人員溝通,以免給您帶來不便。
技術參數產品視頻實驗案例警示/應用提示配件詳情
爐體結構

? 采用雙層殼體結構,并且安裝有風冷系統

? 高純氧化鋁纖維作為爐膛材料,表面涂有高溫氧化鋁涂層,可提高溫度均勻性和延長爐膛使用壽命

? 6個溫區由6個獨立的溫控儀表控制,最高溫度1500℃,控溫精度可達+/ - 1°C

? 總加熱區長度為1440mm

? 此設備可得到較長恒溫區,也可獲得不同的溫度梯度


輸入功率

? 22KW


工作電壓

? AC380V, 三相 50/60Hz(需要100A的空氣開關)


最高工作溫度

? 1500℃(小于30分鐘)


連續工作溫度

? 1400℃


建議最大升溫速率

? 5℃/min


爐管

? 材料:高純氧化鋁管(剛玉)

? 尺寸: 60 O.D x 51 I.D x 1800mm L 

? 可選購直徑達到

   Φ100mm石英管(最高使用溫度為1200℃)

   Φ100mm高溫合金管(最高使用溫度為1100℃)


加熱區長度

? 總加熱區長度:1440mm(包含溫區之空白區)

? 每個加熱區長度Z1+Z2+Z3+Z4+Z5+Z6:284.5mm + 177.8mm + 177.8mm + 177.8mm +177.8mm+284.5 mm

? 恒溫區長度:800mm(+/- 2oC,每個溫區設置同樣的溫度)

注意:溫度梯度可通過溫區之間插入隔熱環來進行調節。


溫控系統

 OTF-1500X-Z6 3.png


? 6個溫區,由獨立的PID程序溫控系統控制

? 可設置50段溫度程序,精確控制加熱速率,降溫速率和保溫時間

? 帶有超溫保護和報警

? 控溫精度:+/- 1 oC

? 6根S型熱電偶(每個溫區一根)

? 可選:

   (1)通過安裝控制模塊,可由PC機操作高溫爐。請額外訂購一個MTS-02控制模塊。

   (2)如果您訂購PC控制模塊和高溫爐,我們將在裝運前對其進行安裝和測試。我們建議您向我們訂購一臺筆記本電腦,以避免軟件安裝問題

 OTF-1500X-Z6 4.png   OTF-1500X-Z6 5.png  OTF-1500X-Z6 2.png


歐陸控溫系統(可選)

 OTF-1500X-Z6 6.png


? 加熱通道

? 程序可設置8或24段

? 控溫精度:  ±0.1oC

? 菜單:用PC工具菜單功能可被建立,用于選取不同的熱處理工藝。對于用同一款設備對不同的材料采用不同工藝處理非常方便有用。


電腦,軟件&無線控制(可選)

? Labview 溫控系統,使用戶可編輯溫度曲線,管理熱處理配方,記錄和繪制數據

 OTF-1500X-Z6 7.png OTF-1500X-Z6 8.png OTF-1500X-Z6 2.png

真空度

? 10^-2 torr (采用機械泵)

? 10^-5 torr (采用分子泵系統)

 OTF-1500X-Z6 9.png OTF-1500X-Z6 10.png


隔熱管堵放置

? 設備中配有2個隔熱管堵,可查看圖片了解隔熱管堵放置位置

? 可選購法蘭支撐架,避免爐管轉動

 OTF-1500X-Z6 11.png OTF-1500X-Z6 12.png


加熱元件

? 48根1500℃級別SiC棒(尺寸Φ14mm . x 150mm 加熱段?x ?413mm L)

? 加熱元件是消耗品,可在本公司選購6根S型熱偶,安裝在設備上

 OTF-1500X-Z6 13.png


外形尺寸

? 1950 mm L × 660 mmW × 762 mmH


重量

? 300kg


應用注意事項

? 爐管設計用于真空和低壓< 0.02 Mpa

? 不可將石墨坩堝放入到陶瓷爐管中

? 注意:用戶所用氣瓶上必須安裝雙級減壓閥

 OTF-1500X-Z6 14.png

? 進氣流量小于200SCCM(或200ml/min)


質保

? 一年質保期,終生維護(消耗品不包含,如爐管,密封圈,加熱元件等)


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