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緊湊型高精度反射膜厚儀系列
- 關鍵字：
- 高精度
- 型號：
- TFMS-IV
- 產品概述：
- TFMS-IV系列緊湊型高精度反射膜厚儀，利用光學干涉原理，通過分析薄膜表面反射光和薄膜與基底界面反射光相干涉形成的反射譜，快速準確測量薄膜厚度、光學常數等信息。反射膜厚儀廣泛應用于各種介質保護膜、有機薄膜、無機薄膜、金屬膜、涂層等薄膜測量。
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本站產品介紹內容（包括產品圖片、產品描述、技術參數等）僅用于宣傳用途，僅供參考。由于更新不及時和網站不可預知的BUG可能會造成數據與實物的偏差，請勿復制或者截圖。如果您對參數有異議，或者想了解產品詳細信息及更多參數，請與本公司銷售人員聯系。本站提供的信息不構成任何要約或承諾，請勿將此參數用于招標文件或者合同，科晶公司會不定期完善和修改網站任何信息，恕不另行通知，請您諒解。
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技術參數產品視頻實驗案例警示/應用提示配件詳情
| 產品型號
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TFMS-IV系列緊湊型高精度反射膜厚儀 |
| 主要特點
|
1、光學薄膜測量解決方案 2、非接觸、非破壞測量 3、覆蓋單層到多層薄膜 4、核心算法覆蓋薄膜到厚膜 5、配置靈活、支持定制化 6、采用高強度鹵素燈光源，光譜覆蓋可見光到近紅外范圍 7、采用光機電高度整合一體化設計，體積小，操作簡便 8、基于薄膜層上界面與下界面的反射光相干涉原理，輕松解析單層薄膜到多層 9、配置強大核心分析算法：FFT分析厚膜、曲線擬合分析法分析薄膜的物理參數信息 |
| 技術參數
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| 型號 | TFMS-IV | TFMS-IV（可選） | | 基本功能 | 獲取薄膜厚度值以及R、N/K（可選）等光譜 | | 光譜波長范圍 | 380-800nm | 650-1100nm（可選） | | 測量厚度范圍 | 50nm-20um | 100nm-200um（可選） | | 測量時間 | <1s | | 光斑尺寸 | 0.5-3mm | | 重復精度 | 0.1nm（100nmSiO2/Si） | | 絕對精度 | ±1nm or 0.5% | | 入射角方式 | 垂直入射 |
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| 可選配件
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1、溫控臺 2、Mapping擴展模塊 3、真空泵 |
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