| 設備名稱 | 智能雙溫區PECVD系統 OTF-1200X-80-Ⅱ-4CV-CMPE-SL（2021.02.01—科晶實驗室審核） |
| 產品提示 | 1、多種配件可選提示 2、特殊設備尺寸設備 3、科晶實驗室邀請提示 4、配件妥善保管提示 |
| 產品特點 | ·智能控制模塊，參數顯示更直觀更易操作； ·射頻電源可實現等離子增強從而顯著降低實驗溫度； ·4通道質子流量計控制系統可以對氣體的輸送進行精確的調控； ·爐體開啟式設計，以達到對樣品快速降溫，方便更換爐管。 |
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操作視頻 |
| 加熱爐參數 | ·雙溫區爐膛 ·最高溫度: 1200℃（≤2h） ·額定工作溫度: 1100℃ ·推薦升溫速率:≤10℃/min （最高40℃/min 800℃ 注：急速升溫影響設備使用壽命） ·加熱區長度: L總：400mm； 溫區一：200mm 溫區二：200mm ·加熱爐額定功率：3KW/220V （配置空開30A） ·滑動方式：手動 ·電壓：單相AC 208 - 240V, 50HZ ·石英管堵 ·爐管規格：外徑:80mm，內徑:74mm，L長: 1800 mm ·材料：高純石英 |
| 溫控系統 | ·模糊PID控制和自整定調節功能 ·智能化50段可編程控制 ·具有超溫及斷偶報警功能 ·控溫精度: ±1℃ ·帶RS485通訊接口 PC接入，并附帶控制軟件，加熱爐數據可每分鐘記錄保存一次。 ·帶過電流過電壓保護 漏電保護 電氣元件及電纜，冷壓端子均符合UL認證標準 |
| 軟件控制 | 傳統PECVD與開發的智能通訊模塊組合，可對傳統PECVD實現自動化升級 ? 可自由搭配各種系統控制組合自定義CVD系統，例如溫控系統可選擇溫區或各品牌儀表控制；氣路系統可選擇設備型號，計算氣體總摩爾質量，可以搭配射頻電源系統，真空系統等我公司生產的其他CVD系統模塊，通過智能控制盒和上位機自定義CVD生態控制系統實現隨意自定義組合CVD系統控制生態平臺，控制可搭配觸摸式一體機或者WIFI連接筆記本和臺式設備，搭配智能控制盒擴展接口可利于客戶后期采購任意CVD模塊升級現有CVD設備，例如后期增加壓力可控模塊可在購買該系統模塊后連接通訊線至智能控制盒，在軟件界面選擇該系統模塊即可在現有的CVD模塊控制界面添加壓力可控功能。 ? 使其具備了自動化運行，數據存儲，以及遠程操作性能 該模塊可對所有我公司CVD模塊進行連接，并搭配家用路由器可實現無線遠程的操控和存儲。
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| 射頻電源 | ·500W射頻電源 ·0--500W可調（穩定性±1%） ·射頻頻率：13.56MHZ ·自動匹配 風冷 ·噪音＜50dB ·輸入電壓：AC108-250V |
| 供氣系統 | ·四通道質子流量計控制系統可實現氣體流量的精確控制（精確度：±0.02%） ·流量范圍：一路0-100 sccm 二路0-200 sccm 三路0-200 sccm 四路0-500 sccm ·連接接口：6.35mm雙卡套連接 ·金屬管路：材質：SUS316 φ外：6.35mm φ內：4mm ·軟管路：材質：特氟龍 φ外：6.35mm φ內：4mm 注：接入供氣系統的氣源需搭配減壓閥，將氣壓降至2mpa以下 |
| 真空系統 | ·采用TRP-12的雙旋真空泵（抽速3L/s） ·KF25卡箍及波紋管用于連接法蘭與真空泵 ·配置KF-25真空手動擋板閥 ·真空度可達10-2Torr |
| 產品重量和尺寸 | ·爐體尺寸：2200 mm L*850mmW*1400mm H；
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| 認證 | ·CE認證 ·所有電器元件通過 UL / MET / CSA認證 ·如您另外付費，我們可以保證單臺儀器的TUV(UL61010)或CSA 認證
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| 承諾 | ·一年質保期，終身維護（不包括爐管、硅膠密封圈和加熱元件） |
警示 | ·爐管內氣壓不可高于0.02 MPa； ·由于氣瓶內部氣壓較高，所以向爐管內通入氣體時，氣瓶上必須安裝減壓閥，建議在本公司選購減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa，使用時會更加精確安全； ·石英管的長時間使用溫度＜1100℃； ·當爐體溫度高于1000℃時，爐管內不可處于真空狀態，爐管內的氣壓需和大氣壓相當，保持在常壓狀態。 |
應用技術提示 | ·通入爐內氣體流量需小于200 sccm，以避免冷的大氣流對加熱石英管造成沖擊； ·加熱時，不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥。若需要關閉氣閥對樣品加熱，則需時刻關注壓力表的示數，若氣壓表示數大于0.02 MPa，需立刻打開泄氣閥，以防意外發生（如爐管破裂、法蘭飛出等）。 ·采用氬氣高于射頻功率200w情況下，需特殊說明，設備需要特殊改造及測試，（有法蘭過熱情況） ·壓力控制：采用TRP-12（抽速3L/s）的雙旋真空泵，在總進氣量為100-150sccm，管內壓力為 100-130pa，如總進氣量高于150sccm時，請更換抽速更高的泵，測試為總進氣量為1L/min（滿足四路質量流量計全開狀態時），使用VRD-60泵（抽速18L/s），最高真空為120-130pa（滿足起輝條件） ·如需對管內壓力測控，需搭配恒壓系統，恒壓系統可連接CVD生態控制系統 ·配置石英管堵時，為避免負壓造成管堵移位，管堵損壞，請在真空泵開啟前先關閉真空擋板閥，后緩慢開啟真空擋板閥，避免管壓差過大導致管堵移動，撞擊法蘭損壞。 |
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