| 爐體結(jié)構(gòu) | · 高純氧化鋁纖維作為爐膛材料 · 采用三可加熱區(qū)，可達(dá)到600mm長的恒溫區(qū) · 外徑304mm.內(nèi)徑203mm的石英管，帶有不銹鋼密封法蘭 · 一個電動滑軌，上面裝載石墨舟和樣品 · 高純石墨舟，可轉(zhuǎn)載12片圓片或方形片，尺寸可達(dá)6英寸 · 1000W RF（13.5MHz）等離子電源 · 4通道混氣系統(tǒng) · 可選購真空泵（油泵或無油泵）
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| 電源要求 | · 208-240VAC，單相，50/60Hz · 9KW |
| 石英管&法蘭 | · 外徑304mm×內(nèi)徑203mm×長度1300mm · 設(shè)備包含一根石英管，可購買備用石英管 · 配有SS304不銹鋼法蘭，帶有KF40真空接口&閥門和進氣口&出氣口 · 安裝有一套雙滑軌，直流電機驅(qū)動法蘭和樣品舟移動進出石英管
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| 石墨舟 | · 石墨舟采用高純石墨（產(chǎn)自日本）制作，帶有RF電極 · 12個插槽（4×3）可裝載樣品尺寸6英寸×6英寸×0.5mm厚度或直徑6英寸圓片 · 客戶可定制石墨舟（4×4或5×4）
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| 管式爐 | · 加熱元件：NiCrAl合金絲 · 加熱區(qū)：3個加熱區(qū)（300mm＋300mm＋300mm） · 恒溫區(qū)：600mm( +/- 2oC,3個溫區(qū)設(shè)置同樣的溫度) · 工作溫度：400-1100℃ · 最大加熱冷卻速率：10℃/min
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| 溫控系統(tǒng) | · 3塊3000型歐陸（Eurotherm）儀表，可設(shè)置24段升降溫段 · 3根K型熱電偶 · 控溫精度： +/- 0.1°C · 包含軟件和PC界面模塊
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| 射頻等離子電源 | · 輸出功率：20-1000W（可調(diào)節(jié)，穩(wěn)定性± 1% ） · RF頻率：13.56MHz · 匹配方式：自動匹配 · 冷卻：空氣冷卻 · 噪音：<50dB · 輸入電源：110-240VAC，50/60Hz
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| 供氣系統(tǒng) | · 4個質(zhì)量流量計安裝在一個移動架內(nèi)，控制精度：±1.5%FS，重復(fù)精度： ±0.2%FS · 控制1： 0~100SCCM · 控制2： 1~199SCCM · 控制3： 1~199SCCM · 控制4： 1~499SCCM · 觸摸屏控制，設(shè)置各種參數(shù) · 安裝有RS485接口，用于通過PC遠(yuǎn)程控制 · 每個工位的流量控制范圍可按客戶要求定制
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| 真空泵&真空計 | · 一個防腐型數(shù)顯真空計，測試范圍可達(dá)到10-5torr · 設(shè)備使用需要真空泵，可在本公司選購各種真空泵
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| 產(chǎn)品尺寸 |
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| 凈重 | 500kg |
| 質(zhì)保 | 一年質(zhì)保期，針對于電器和機械部分，不包含加熱元件，石英管，密封圈 |
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