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管徑130滑動(dòng)式單溫區(qū)管式爐PECVD系統(tǒng)
關(guān)鍵字:
滑動(dòng)式 單溫區(qū)
型號(hào):
OTF-1200X-5S-4CLV-PE
產(chǎn)品概述:
OTF-1200X-5S-4CLV-PE是一款滑動(dòng)式單溫區(qū)管式爐PECVD 系統(tǒng)。該系統(tǒng)包含等離子射頻電源,130mm OD*1560mm L的滑動(dòng)式單溫區(qū)管式爐,4通道質(zhì)量流量供氣系統(tǒng)和機(jī)械泵機(jī)組,可用于生長(zhǎng)納米線或石墨烯及薄膜材料領(lǐng)域。
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技術(shù)參數(shù)產(chǎn)品視頻實(shí)驗(yàn)案例警示/應(yīng)用提示配件詳情
產(chǎn)品型號(hào)

 OTF-1200X-5S-4CLV-PE

產(chǎn)品特點(diǎn)

·射頻電源可實(shí)現(xiàn)等離子增強(qiáng)從而顯著降低實(shí)驗(yàn)溫度;

·滑軌式可快速加熱和快速冷卻;   

·單溫區(qū),管徑130mm 加熱區(qū)300mm

·可在溫度范圍較大的條件下制備材料,如碳、ZnO納米管或納米線及單層石墨烯等。

加熱爐參數(shù)

·電源:電壓要求:AC 208-240V 單相, 50/60 Hz

·功率:3 KW

·最高溫度:1200℃(小于0.5小時(shí))

·連續(xù)工作溫度:1100℃

·加熱區(qū)長(zhǎng)度:300mm,恒溫區(qū)長(zhǎng)度:100mm(+/-3℃)

·最大升溫速率: ≤ 20 °C/min(加熱元件壽命原因建議升溫速率)

·爐體開(kāi)啟式設(shè)計(jì),以達(dá)到對(duì)樣品快速降溫,方便更換爐管。

圖片1.png

溫控系統(tǒng)

·控制箱和爐體分開(kāi),中間通過(guò)航空插頭連接

·包含一款858P型溫度控制器(也可選配歐陸儀表恒溫精度可達(dá)±0.1℃)

·PID自動(dòng)控溫系統(tǒng)

·智能化50段可編程控制

·控溫精度:±1℃

·默認(rèn)DB9 PC通信連接端口

·RS485通訊接口

·PC控制軟件:可選購(gòu)PC控溫軟件,可用電腦控制爐體和記錄數(shù)據(jù)

  圖片2.png

射頻電源

項(xiàng)目

100W射頻電源

300W射頻電源

500W射頻電源

輸出功率

0-100W可調(diào)

(穩(wěn)定性:±1%)

0-300W可調(diào)

(穩(wěn)定性:±1%)

0-500W可調(diào)

(穩(wěn)定性:±1%)

射頻頻率

13.56 MHz

(穩(wěn)定性:±0.5%)

13.56 MHz

(穩(wěn)定性:±0.5%)

13.56 MHz

(穩(wěn)定性:±0.5%)

匹配

自動(dòng)匹配

自動(dòng)匹配

自動(dòng)匹配

噪音

<50dB

<50dB

<50dB

冷卻方式

風(fēng)冷

風(fēng)冷

風(fēng)冷

輸入電壓

AC180-250V

AC180-250V

AC180-250V




真空系統(tǒng)

·采用TRP-12的雙旋真空泵;

·KF25卡箍及波紋管用于連接管式爐與真空泵;

·真空度可達(dá)10-2Torr。

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·搭配TRP-12的雙旋真空泵(抽速3L/s)(總進(jìn)氣量小于150sccm,該泵可以達(dá)到等離子發(fā)生真空度)

·搭配TRP-60雙旋真空泵(抽速10L/s)(總進(jìn)氣量1L/min,該泵可以達(dá)到等離子發(fā)生真空度)


供氣系統(tǒng)

·四通道質(zhì)子流量計(jì)控制系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)氣體流量的精確控制(精確度:±0.02%)

·流量范圍:

 一路0-100 sccm 

 二路0-200 sccm 

 三路0-200 sccm 

 四路0-500 sccm 

·電壓:208-240V, AC, 50/60Hz;

·氣體進(jìn)出口配件:6.35mm的聚四氟管或不銹鋼管;

·不銹鋼針閥用于手動(dòng)控制氣體進(jìn)出;

·PLC觸摸屏可以簡(jiǎn)便地進(jìn)行氣體流量設(shè)置

注:接入供氣系統(tǒng)的氣源需搭配減壓閥,將氣壓降至2mpa以下

圖片4.png

產(chǎn)品尺寸和重量

·設(shè)備總體尺寸:2300X600X1300mm(長(zhǎng)寬高)

·凈重:310kg

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注意事項(xiàng)

采用氬氣高于射頻功率200w情況下,需特殊說(shuō)明,設(shè)備需要特殊改造及測(cè)試,(有法蘭過(guò)熱情況)

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注意事項(xiàng):采用氬氣高于射頻功率200w情況下,需特殊說(shuō)明,設(shè)備需要特殊改造及測(cè)試,(有法蘭過(guò)熱情況)

公司環(huán)境

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附件

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