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滑動式三溫區管式爐PECVD系統
關鍵字:
滑動式 三溫區
型號:
OTF-1200X-50-III-S-4CV-PE-SL
產品概述:
OTF-1200X-50-III-S-4CV-PE-SL 是一款滑動式三溫區管式爐PECVD 系統。該系統包含等離子射頻電源,50OD*2100mm L的滑動式單溫區管式爐,4通道質量流量供氣系統和機械泵機組,可用于生長納米線或石墨烯及薄膜材料領域。
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技術參數產品視頻實驗案例警示/應用提示配件詳情
設備名稱

滑動式三溫區管式爐PECVD系統 OTF-1200X-50-III-S-4CV-PE-SL

產品特點

·射頻電源可實現等離子增強從而顯著降低實驗溫度;

·滑軌式可快速加熱和快速冷卻;   

·三個加熱區,溫度梯度最大可達200℃

·可在溫度范圍較大的條件下制備材料,如碳、ZnO納米管或納米線及單層石墨烯等。


加熱爐參數

·電源:電壓要求:AC 208-240V 單相, 50/60 Hz

·功率4.8KW

·最高溫度:1200℃(小于0.5小時)

·連續工作溫度:1100℃

·加熱區長度:600mm,(三溫區:150mm+300mm+150mm)

·最大升溫速率: ≤ 20 °C/min(加熱元件壽命原因建議升溫速率)

·爐體開啟式設計,以達到對樣品快速降溫,方便更換爐管。

圖片1.png

溫控系統

·包含一款858P型溫度控制器(也可選配歐陸儀表恒溫精度可達±0.1℃)

·PID自動控溫系統

·智能化50段可編程控制

·控溫精度:±1℃

·默認DB9 PC通信連接端口

·RS485通訊接口

·PC控制軟件:可選購PC控溫軟件,可用電腦控制爐體和記錄數據

圖片2.png

射頻電源

項目

100W射頻電源

300W射頻電源

500W射頻電源

輸出功率

0-100W可調

(穩定性:±1%)

0-300W可調

(穩定性:±1%)

0-500W可調

(穩定性:±1%)

射頻頻率

13.56 MHz

(穩定性:±0.5%)

13.56 MHz

(穩定性:±0.5%)

13.56 MHz

(穩定性:±0.5%)

匹配

自動匹配

自動匹配

自動匹配

噪音

<50dB

<50dB

<50dB

冷卻方式

風冷

風冷

風冷

輸入電壓

AC180-250V

AC180-250V

AC180-250V


真空系統

·采用TRP-12的雙旋真空泵;

·KF25卡箍及波紋管用于連接管式爐與真空泵;

·真空度可達10-2Torr。

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·搭配TRP-12的雙旋真空泵(抽速3L/s)(總進氣量小于150sccm,該泵可以達到等離子發生真空度)

·搭配TRP-60雙旋真空泵(抽速10L/s)(總進氣量1L/min,該泵可以達到等離子發生真空度)



供氣系統

·四通道質子流量計控制系統可實現氣體流量的精確控制(精確度:±0.02%)

·流量范圍:

 一路0-100 sccm 

 二路0-200 sccm 

 三路0-200 sccm 

 四路0-500 sccm 

·電壓:208-240V, AC, 50/60Hz;

·氣體進出口配件:6.35mm的聚四氟管或不銹鋼管;

·不銹鋼針閥用于手動控制氣體進出;

·PLC觸摸屏可以簡便地進行氣體流量設置

注:接入供氣系統的氣源需搭配減壓閥,將氣壓降至2mpa以下

圖片4.png


產品尺寸和重量

·設備總體尺寸:2500X750X1510mm(長寬高)

·凈重:310kg

5.jpg

注意

注意事項:采用氬氣高于射頻功率200w情況下,需特殊說明,設備需要特殊改造及測試,(有法蘭過熱情況)


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注意事項:采用氬氣高于射頻功率200w情況下,需特殊說明,設備需要特殊改造及測試,(有法蘭過熱情況)

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