| 設備名稱型號 | PECVD系統 OTF-1200X-II-80-4CLV-PE（帶滑軌） |
| 產品特點 | · 射頻電源可實現等離子增強從而顯著降低實驗溫度 · 滑軌爐可使樣品快速加熱和快速冷卻 · 加熱爐含有兩個溫區，溫度梯度最大可達200℃ · 可制備碳、氧化鋅納米管或納米線及單層石墨烯等 |
| 滑軌爐參數 | · 電源：AC220V/50HZ · 功率：3.0KW · 加熱區長度：200mm*2 · 最高溫度：1200度（≤30min） · 工作溫度：1100度 · 熱電偶：K型 · 智能化儀表，PID控制，30段程序控溫 · 爐體可滑動位移：600mm · 爐管尺寸：φ80*1400mm
|
| 法蘭 | · 標配一套不銹鋼真空法蘭 · 進氣端法蘭上安裝了一個機械壓力表用于觀察爐管內的壓力，壓力表范圍-0.1-0.15MPa；一個φ6.35的卡套接頭作為進氣口使用，并通過一個不銹鋼針閥控制進氣的通斷 · 出氣端法蘭包含一個φ8mm寶塔氣嘴的出氣口，并通過一個不銹鋼針閥控制出氣的通斷。一個KF25接口為抽真空接口，用于連接真空系統。一個KF16的接口用于連接電阻真空計。
|
| 真空系統 | · 電源：AC220V/50Hz · 功率：0.55KW · 極限真空度：5.0*10-1Pa（無負載） · 抽氣速率：3L/s · 抽氣口：KF25接口 · 可選配真空度更高的系統
|
| 供氣系統 | · 型號：GSL-4Z-LCD · 質量流量控制器：100SCCM、200SCCM、200SCCM、500SCCM · 量程可以選配 · 精度：±1.5%FS · 最大壓力：0.3MPa · 內部連接1/4英寸不銹鋼和聚四氟管 · 內置不銹鋼混氣罐
|
| 射頻電源 | · 功率輸出范圍：0-500W · 功率穩定度：≤±5W · 射頻頻率：13.56MHZ · 自動匹配 · 噪音：≤50dB · 冷卻方式：風冷
|
| 設備外形尺寸 | 約2300長*700寬*1380mm高
|
| 設備重量 | 約240KG |
| 質保 | 一年質保期，終生維護 |
· 特別提示： 1、耗材部分如加熱元件、爐管、樣品坩堝等不包含在內 2、因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內 |
· 石英管內的氣壓不可高于0.02MPa； · 氣瓶上必須安裝減壓閥，為了確保安全，建議使用壓力低于0.02MPa，建議在本公司選購減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全； · 對于樣品加熱的實驗，不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關閉氣閥對樣品加熱，則需時刻關注壓力表的示數，若氣壓表示數大于0.02MPa，必須立刻打開出氣閥，以防意外發生（如爐管破裂，法蘭飛出等） · 我們不建議客戶使用易燃易爆和有毒的氣體，如果客戶工藝原因確實需要使用易燃易爆和有毒氣體，請客戶自行做好相關防護和防爆措施。由于使用易燃易爆和有毒氣體而造成的相關問題，本公司概不負責。 |
查看誠信檔案
皖公網安備 34012302000974號
