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混合式PVD鍍膜儀(連接手套箱,2英寸射頻濺射儀+2源蒸發(fā)鍍膜儀)
型號(hào):
VTC-H3-GB
產(chǎn)品概述:
VTC-H3-GB是一款特殊的PVD鍍膜系統(tǒng)(鍍膜儀與手套箱相連接),設(shè)備組成主要有RF等離子濺射儀濺射頭和2個(gè)蒸發(fā)源,設(shè)備主要用于固態(tài)電池探索。RF等離子濺射主要用于在電池正極極片上鍍上固態(tài)電解質(zhì),一個(gè)蒸發(fā)源用于將金屬鋰蒸鍍到電解質(zhì)膜上,另一個(gè)蒸發(fā)源將金屬銅蒸鍍到金屬鋰層上。
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電源

·AC 208-240單相 50/60 Hz

·功率;1.5 KW (手套箱); 2.5 KW ( 鍍膜儀)

·總功率:  4.0 KW

手套箱

·腔體尺寸: 1200 mm L x 740 mm W x 900 mm H

·手套箱內(nèi) O2 & H2O 含量小于1PPM

·腔體材料: 304 不銹鋼,厚度3mm

·手套箱前倉(cāng)門可開啟

圖片1.png

真空腔體和樣品臺(tái)

·鍍膜儀真空腔體采用SS304不銹鋼制作,安裝在手箱底部

·頂部法蘭采用鉸鏈?zhǔn)椒ㄌm,可手動(dòng)開啟

·2個(gè)使用觀察窗口安裝在腔體上

·等離子濺射頭和2個(gè)蒸發(fā)加熱源安裝在真空腔體底部

·一個(gè)可加熱旋轉(zhuǎn)樣品安裝在頂部法蘭上,最大可安裝直徑4英寸樣品。

·樣品臺(tái)旋轉(zhuǎn)速度: 5 rpm

·一個(gè)旋轉(zhuǎn)擋板安裝在法蘭底部,避免蒸發(fā)源和濺射頭之間相互污染

圖片2.png

射頻濺射電源&濺射頭

·濺射電源:頻率13.5MHz,300W,自動(dòng)匹配功能

·一個(gè)2英寸的濺射頭(帶水冷卻管道),安裝在真空腔體上

·一個(gè)流量16L/min的循環(huán)水冷機(jī)安裝在手套量底部

·RF濺射儀可濺射導(dǎo)電和非導(dǎo)電材料


熱蒸鍍

·2個(gè)鎢線圈加熱源,帶有2個(gè)B型熱電偶和氧化鋁坩堝,安裝在真空腔體內(nèi)(圖1

·1個(gè)控溫儀表,控溫精度±1℃,可設(shè)置30段溫度段(圖2

·一個(gè)電源轉(zhuǎn)化按鈕,用于在2個(gè)加熱源之間轉(zhuǎn)化加熱

·工作溫度:  200oC - 1700oC

·建議加熱速率:  0.3 oC/s (RT-1200 oC)  15 oC/s  (1200oC - 1700 oC)

·配有4個(gè)氧化鋁坩堝和2個(gè)鎢絲加熱圈

圖片5.png 圖片6.png

      圖1                                                             2


真空泵

·KF25接口用于連接真空泵

·最大真空度可達(dá)10-4Pa(采用分子泵系統(tǒng))

·一個(gè)防腐型數(shù)字真空計(jì)安裝在真空腔體上

·可在本公司選購(gòu)各種真空泵

圖片7.png 圖片8.png 圖片9.png


薄膜測(cè)厚儀

·真空腔體內(nèi)安裝有一個(gè)高精度薄膜測(cè)厚儀,可實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)薄膜厚度

·測(cè)量精度:   0.1 ?       

圖片10.png

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