如何選擇管式爐
連續(xù)工作溫度是 1600°C
如有不清楚的地方，請聯(lián)系科晶銷售
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a. 250 ~ 1250°C Fe-Cr-Al 或 Ni-Cr-Al 合金加熱元件 或 紅外燈管加熱元件；
采用 K 型熱電偶。
例如： 科晶 KSL-1200X-S
采用電阻絲加熱，K 型熱電偶測溫，最高加熱溫度 1200°C，長時間使用 1100°C。
b.1300 ~ 1600°C 碳化硅加熱元件http://m.youhengxiu.cn/productsA_detail/productId=384.html 采用 S 型熱電偶
c.1600 ~ 1800°C MoSi2 加熱元件（禁止長時間在 800°C 以下加熱）
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采用 B 型熱電偶
A.坩堝選擇:
石英坩堝:≤1200°C 使用石英管，熱處理溫度超過 600°C 時，請不要用氧化鋁坩堝
http://m.youhengxiu.cn/productsA_detail/productId=376.html
氧化鋁≤1800°C 使用剛玉管，熱處理溫度超過 900°C 時，請不要用莫來石坩堝
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石 墨 坩 堝 ≤ 2300 °C
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例如：1、需要對粉末進行 900°C 熱處理，選擇石英坩堝裝載樣品。
2、需要將合金在 1600°C 融化，選擇氧化鋁坩堝。
B.管徑的選擇:
選擇好坩堝后，根據(jù)坩堝裝載樣品后的體積選擇合適的爐管管徑（一般買爐子會標配有加熱爐管）
a.石英管 ≤1200°C （真空環(huán)境下最高 1000 度）
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型號 | 管徑 | |
科晶 OTF 系列 | OTF-1200X-S | Φ25、Φ50 |
OTF-1200X | Φ50、Φ60、Φ70、Φ80、Φ100、Φ130 | |
科晶 GSL 系列 | GSL-1100X-S | Φ20、Φ50 |
GSL-1100X-6-S | Φ152 | |
GSL-1100X-8.5-S | Φ216 |
b.剛玉管 ≤1800°C （剛玉管不建議真空環(huán)境下使用）
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型號 | 管徑 | |
科晶 GSL 系列 | GSL-1400X | Φ60、Φ80 |
GSL-1500X | Φ80 | |
GSL-1600X | Φ60、Φ80 | |
GSL-1700X | Φ60 | |
GSL-1750X | Φ60 | |
GSL-1800X | Φ60 |
例如：
d.800°C≤SS310 管:≤1000°C(高壓力/真空爐)
e.900°C≤超耐熱不銹鋼管:≤1000°C(高壓力/真空爐)
！！！！多大的爐管放多大的坩堝及樣品
3、根據(jù)實驗要求選擇單溫區(qū)管式加熱爐和多溫區(qū)管式加熱爐，多溫區(qū)較單 溫區(qū)會設有多個熱電偶，n 溫區(qū)加熱爐的恒溫區(qū)比(n-1)溫區(qū)的加熱爐恒溫區(qū)要長，部分儀器尺寸變大。
管式爐的溫區(qū)作用及如何選擇？
（1）恒溫區(qū)的作用：
恒溫區(qū)一般指加熱爐內的某一段區(qū)間內各點溫度基本一致，樣品放置在這一區(qū)間內，樣品各處受到的溫度會基本一致。（中心區(qū)域溫差小于+ / - 1°C）
（2）恒溫區(qū)不同帶來的變化：
恒溫區(qū)的增加或減少可能會改變儀器的尺寸，儀器整體會變長變大。
（3）恒溫區(qū)選擇舉例
選擇合適的恒溫區(qū)，一定要先根據(jù)實驗樣品的尺寸或實驗要求的受熱體積來選擇
A、實驗樣品尺寸大于儀器恒溫區(qū)，需要選擇多溫區(qū)來增加恒溫區(qū)的長度，
B、根據(jù)實驗要求需要多個溫度梯度時，這就需要多溫區(qū)來實現(xiàn)
例如：通過物理沉積方式在基片上生長二維材料，原料高溫揮發(fā)后，利用載氣向低溫端移動，一定溫度下在基片上生長。（相鄰兩個溫區(qū)最大溫差 300°C）
請注意加熱爐加熱區(qū)分為總加熱區(qū)長度（加熱源能覆蓋的區(qū)域）和恒溫區(qū)長度。恒溫區(qū)總是小于總加熱區(qū)。請選擇一個恒溫爐區(qū)尺寸超過您樣品的加熱爐。
整個系統(tǒng)包括加熱爐系統(tǒng)、射頻電源、供氣系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、水冷系統(tǒng)、通風系統(tǒng)、氫氣報警系統(tǒng)
低真空 CVD 系統(tǒng) | |
低真空 CVD 系統(tǒng) | |
PECVD | http://m.youhengxiu.cn/product/14835/type.html |
HPCVD | http://m.youhengxiu.cn/product/14835/type.html |
ALD | http://m.youhengxiu.cn/product/14835/type.html |
http://m.youhengxiu.cn/products_listA1/pmcId=1073.html
科晶 OTF-1200X-4-RTP
最快 50°C/s 升溫速度，紅外燈管加熱
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科晶 OTF-1200X-50-S
加熱爐加熱到某一溫度后，滑至樣品所在區(qū)域， 可以提高升溫速度，熱處理結束，將爐體移開， 使樣品所在區(qū)域暴露在空氣中，快速冷卻。
http://m.youhengxiu.cn/productsA_detail/productId=1121.html
④高壓力/真空爐:特殊設計的鎳鉻合金和不銹鋼爐管，對樣品進行高溫高壓和真空處處理。http://m.youhengxiu.cn/products_listA1_1/pmcId=628.html
⑤旋轉管式爐:爐管旋轉式結構可以更均勻的熱處理粉末，同時也可以達到粉末包覆的效果。http://m.youhengxiu.cn/products_listA1_1/pmcId=1072.html
5、選擇有相關認證的管式爐：
合肥科晶所有爐子的電子元器件均采用 UL 認證器件。
合肥科晶保證加熱爐可單臺可通過認證（可能會產生部分認證費用，具體請咨詢銷售）
http://m.youhengxiu.cn/wy4_detail/newsId=483.html
6、選擇合適的真空泵低真空系統(tǒng)
http://m.youhengxiu.cn/productsA_detail/productId=430.html
國產高真空系統(tǒng)（分子泵）
http://m.youhengxiu.cn/productsA_detail/productId=1658.html
進口高真空系統(tǒng)（分子泵）
http://m.youhengxiu.cn/productsA_detail/productId=429.html
后期補充。。。
8、如果您還有不明白的地方，請您聯(lián)系我們
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