| 設(shè)備名稱型號 | 1200℃雙爐氫化物氣相外延系統(tǒng)（HVPE） OTF-1200X-S-D φ80mm |
| 雙體小型管式爐 | · 設(shè)備由兩臺單溫區(qū)管式爐組成 · 工作溫度：1200℃（＜30min） · 連續(xù)工作溫度：1100℃ · 建議加熱速率：≦10℃/min · 加熱區(qū)長度：400mm（每臺爐子溫度長度200mm） · 加熱元件：電阻絲 · 電壓：AC 220V 50Hz · 功率：3KW · 熱電偶：K型 |
| 爐管 | · 爐管材質(zhì)：高純石英管 · 爐管尺寸：φ80*1200mm · 為了保證溫場均勻性和法蘭的密封性，儀器使用升溫前需要在爐管兩端塞入氧化鋁管堵，防止熱量的散失 |
| 不銹鋼密封系統(tǒng) | · 一對φ80mm的不銹鋼密封法蘭安裝在爐管兩端，采用硅膠O型圈密封 · 左端法蘭上的一個(gè)φ6.35mm的卡套接頭為進(jìn)氣口，一個(gè)不銹鋼針閥控制進(jìn)氣的通斷，安裝了一個(gè)量程為0.1-0.15MPa的機(jī)械壓力表用于觀察爐管內(nèi)壓力； · 右端法蘭上的一個(gè)φ6.35mm的卡套接頭為進(jìn)氣口，法蘭內(nèi)部進(jìn)氣口的位置安裝了一個(gè)進(jìn)氣管，進(jìn)氣管延伸到左側(cè)爐體的中間位置（爐管右側(cè)管堵帶有圓形通孔，方便進(jìn)氣管通入）； 一個(gè)φ8mm的寶塔嘴接頭為出氣口，一個(gè)不銹鋼針閥控制出氣的通斷；一個(gè)KF25接口通過不銹鋼波紋管與冷阱連接，冷阱另一端與真空系統(tǒng)相連。 · 爐管漏出爐體部分安裝有防爆箱，保證了實(shí)驗(yàn)的安全性
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| 溫控系統(tǒng) | · 包含兩個(gè)858P型溫度控制器； · PID自動控溫系統(tǒng)； · 智能化50段可編程控制； · 內(nèi)置過熱保護(hù)和熱電偶故障報(bào)警； · 控溫精度：±1℃； · 默認(rèn)DB9 PC通信連接端口； · 通過MET認(rèn)證； · 可選購電腦溫度控制軟件(用于858P系列控制器)用于控制升溫曲線和導(dǎo)出數(shù)據(jù)；
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| 冷阱 | · 真空泵前端可選配安裝一個(gè)冷阱，用于收集熔煉過程中的揮發(fā)物質(zhì) · 裝置的外殼及內(nèi)部均采用304不銹鋼材質(zhì)并做了拋光處理，具有抗腐蝕、易清洗、無污染且耐用的特點(diǎn) · 冷阱改采用透明丙烯酸材料，方便觀察 · 真空接口（可選）：KF-25,KF-40 · 真空度：5*10-4torr · 內(nèi)部冷卻劑容器尺寸：φ160*195mm · 外部氣體室罐體尺寸：φ215*210mm
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| 氣體探測器 | · 備有一套氫氣探測器在此系統(tǒng)中，為固定式，安裝在固定支架上面，可以實(shí)時(shí)監(jiān)測設(shè)備氫氣的泄漏情況； · 氫氣監(jiān)測范圍：1-1000ppm · 工作溫度：-20℃——60℃ · 報(bào)警點(diǎn)設(shè)置：氫氣報(bào)警器設(shè)置有兩個(gè)報(bào)警，第一級的報(bào)警點(diǎn)50ppm，一旦探測到氫氣濃度達(dá)到此值時(shí)，氫氣報(bào)警器將發(fā)出蜂鳴報(bào)警聲，提醒客戶檢查漏氣點(diǎn)。 第二級的報(bào)警點(diǎn)為100ppm，一旦探測到氫氣濃度到達(dá)此值時(shí)，系統(tǒng)自動關(guān)閉氫氣進(jìn)氣閥。
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| 真空系統(tǒng)（選配） | · 型號：VRD-8 · 抽氣速率：2.2 L/S · 電機(jī)功率：370 W · 極限壓強(qiáng)：5×10-1Pa（不帶負(fù)載） · 實(shí)際壓強(qiáng)：≤5 Pa（帶上爐管和密封法蘭，冷態(tài)下機(jī)械泵抽20分鐘） · 如果想要獲得更高的真空度（10-5torr或更高）可選購國產(chǎn)或進(jìn)口高真空機(jī)組
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| 設(shè)備外形尺寸 | · 設(shè)備主體：1550mm（L）*450mm（W）*450mm（H） · 控制柜：370mm（L）*250mm（W）*425mm（H）
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| 重量 | ·約95KG |
| 質(zhì)保 | 一年質(zhì)保期，終生維護(hù) · 特別提示： 1、耗材部分如加熱元件、石英管、樣品坩堝等不包含在內(nèi) 2、因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi) |
使用注意事項(xiàng) | · 爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa（相對氣壓）； · 由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高，所以向石英管內(nèi)通入氣體時(shí)，氣瓶上必須安裝減壓閥，為了確保安全，建議使用壓力低于0.02MPa， 建議在本公司選購減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時(shí)會更加精確安全； · 對于樣品加熱的實(shí)驗(yàn)，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對樣品加熱， 則需時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa，必須立刻打開泄氣閥，以防意外發(fā)生（如爐管破裂，法蘭飛出等） · 我們不建議客戶使用易燃易爆和有毒的氣體，如果客戶工藝原因確實(shí)需要使用易燃易爆和有毒氣體，請客戶自行做好相關(guān)防護(hù)和防爆措施。 由于使用易燃易爆和有毒氣體而造成的相關(guān)問題，本公司概不負(fù)責(zé)。 |
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