產品特點 | · 采用觸摸屏控制,一鍵啟動/停止多溫區 · 諧波減速器+伺服電機保證提拉精度 |
感應電源 | · 采用SS304不銹鋼腔體雙層水冷腔體,腔體尺寸:φ620*570mm,腔體最低真空度:0.5Pa · 腔體頂部的KF50接口與提拉機構上的焊接波紋管連接,提拉桿通過此接口到達腔體內部;腔門上有一個80*300mm的方形觀察窗口, · 設備安裝了一個LED照明燈,通過腔體頂部的一個石英窗口探照在腔體內部。 · 腔體右側面有兩個KF25的接口,一個接口上安裝了一個KF25轉KF16的轉接頭,轉接頭上安裝了一個數顯真空計;,另一個KF25接口為備用接口 · 含有兩個φ6.35mm的雙卡套接頭,一個為進氣口,一個為出氣口,分別通過一個不銹鋼針閥控制氣體的通斷,出氣口安裝了一個安全泄壓閥,當腔室內氣壓達到上限壓力時,安全閥自動打開排氣。 · 安裝了一個量程為-0.1-0.15MPa的機械壓力表用于觀察腔室內真空度 · 腔體背面的KF40接口通過為抽真空接口,通過擋板閥和波紋管與真空系統連接。 · 腔體頂部預留一個石英觀察窗口,用于客戶后期安裝紅外測溫儀進行高溫晶體生長; |
控溫系統 | · 采用觸摸屏控制,一鍵啟動/停止 · 該系統采用高分辨率觸感靈敏的電容屏作為操作界面 · 包含一塊歐陸儀表溫度控制器,控溫精度可到達±0.1°C,采用PID方式調節溫度,可設置24段升溫程序。 |
提拉機構 | · 提拉桿:φ30mm的不銹鋼桿,提拉籽晶桿帶水冷機構,可以在旋轉和提拉的基礎上,實現水冷功能,便于形成溫度梯度,利于單晶生長。 · 提拉速度:0.05—10mm/h(可調) · 旋轉速度:0-120r/min(可調), · 最大提拉行程:300mm · 帶有手動操作可快速升降 |
坩堝與保溫材料 | · 標配兩個鎳坩堝和一個氧化鋁坩堝,鎳坩堝尺寸:φ88*φ82*150mm,φ88*φ82*105mm; 氧化鋁坩堝尺寸:ф60*60,試驗時,在氧化鋁坩堝內放入物料,然后在其外部套上鎳坩堝 · 坩堝包裹在一個氧化鋁保護套內(帶有上蓋),即可防止熱量流失也可將坩堝牢牢的固定在線圈上 · 保護套蓋子頂部帶有通孔,籽晶桿通過通孔達到坩堝內部提拉生長晶體; · 坩堝底部帶有旋轉機構,一個調速電機驅動樣品和坩堝旋轉。 · 坩堝旋轉速度:1-20r/min可調 · 腔體底部有一鎧裝接口,一根S型熱電偶從接口穿過法蘭和旋轉機構到達坩堝底部,用于測量樣品溫度。 |
二次加料裝置 | · 設備頂部安裝了一個不銹鋼材質的二次加料裝置,裝置內部安裝了一個導料板,物料通過導料板滑入坩堝內 · 加料裝置底部為KF25接口,加料口內徑:φ20mm · 內置3個加料口,可在實驗中加入三種不同或相同物料,每個加料口最多可加入物料為50ml。通過旋轉手柄的方式加料。 |
高清攝像可視化系統 | ? 腔體前面觀察窗口位置安裝一個攝像頭和調節鏡頭對內部樣品進行實時原位觀察。 攝像頭技術參數: ? 400萬星光級1/1.8” CMOS超寬動態ICR日夜型槍型網絡攝像機 ? 最低照度:彩色:0.0005 Lux@(F1.2,AGC ON);黑白:0.0001 Lux@(F1.2,AGC ON) ? 寬動態:120db ? 最大圖像尺寸:2560*1440 ? 視頻壓縮標準:H.265/H264/MJPEG ? 網絡:1個RJ45 10M/100M 自適應以太網口 ? 支持RS-485 ? 模擬輸出接口 1路(CVBS輸出BNC接口) ? 電源輸出:DC12V,100mA ? 接口類型:內插式 ? 觀察的圖像可以實時的顯示在電腦顯示屏幕上 |
水冷設備 | · 型號:KJ-7500 · 電源:AC 3P 380V 50HZ · 功率:8.86KW · 工作電流:2.1-18.9A · 制冷量:61416Btu/h · 水箱容量:70L · 出入水口:Rp1″ · 最大量程:117L/min |
真空系統 | · 型號:VRD-48 · 抽氣口接口尺寸:KF40 · 抽氣速率:13.3L/S · 電機功率:1500W · 極限壓強:4*10-2Pa(不帶負載) · 實際壓強:≤2 Pa(帶上爐管和密封法蘭,冷態下機械泵抽20分鐘) · 如果想要獲得更高的真空度(10-5torr 或更高)可選購國產或進口高真空機組 |
產品外形尺寸 | · 單晶爐: 1760mm(L) x 1050mm(W) x 2730mm(H) · 水冷設備:700mm(L) x 1130mm(W) x 1455mm(H) · 感應電源:1000mm(L) x 1450mm(W) x 1570mm(H) · 供電電源:400mm(L) x 750mm(W) x 1050mm(H) |
質量認證 | ·CE認證 |
質保 | · 一年質保期,終生維護(不包含石英,密封圈,加熱元件和樣品夾緊桿等易損件) |
凈重 | ·約400kg |
應用注意事項 | · 我們不建議客戶使用易燃易爆和有毒的氣體,如果客戶工藝原因確實需要使用易燃易爆和有毒氣體,請客戶自行做好相關防護和防爆措施。 由于使用易燃易爆和有毒氣體而造成的相關問題,本公司概不負責。 · 定期檢查控制系統的電器連接部分的接觸是否良好,應特別注意加熱電源和感應線圈的各連接點的連接是否緊固 · 爐溫不得超過額定溫。 · 此款設備必須在流動氣氛下使用,但一定要保證管內不出現正壓,在加熱之前請一定要確定設備是否處在負壓狀態,在加熱期間時刻觀察壓力的變化, 如果由于膨脹氣壓超過表壓的0.05MPa處需立即停止加熱,防止出現安全問題 |