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高速自動化學機械拋光機(CMP,300mm底盤,配自動送料器)
型號:
UNIPOL-1203
產品概述:
UNIPOL-1203化學機械磨拋機,適用于CMP平坦化和平滑化工藝技術, 整機研磨部分采用防腐材料,耐化學腐蝕,配置自動滴料器和精密磨拋控制儀,全自動觸摸屏面板,從加工性能和速度上同時滿足晶圓等面型加工的需求。
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技術參數產品視頻實驗案例警示/應用提示配件詳情
產品名稱型號

·化學機械磨拋機 UNIPOL-1203


特點

·超平不銹鋼拋光盤(平面度為每25mm×25mm小于0.0025mm)。

·超精旋轉軸(托盤端跳小于0.01mm)。

·設有兩個加工工位,可分別進行控制。

·配有全自動控制觸摸屏面板,可設置主軸轉速、擺臂速度、磨拋時間。

·配置自動滴料器,流量速率可視化調整,自動研磨和拋光。

·配置GPC-100A精密磨拋控制儀,可調節壓力,修整面型,使磨拋更加方便快捷。

·研磨部分采用防腐材料,耐化學腐蝕。


磨拋主機基本參數

·設備供電端口:AC220V 50Hz

·總功率:500W(MAX)

·磨拋盤直徑:Φ300 mm 鑄鐵花盤、不銹鋼平盤各1個

·載樣盤直徑:Φ105 陶瓷平板載樣盤、陶瓷修盤環各1個

·工位數:2位

·主驅動電機:精密伺服電機 0.45KW

·擺臂驅動電機:直流減速電機 DC24V 0.8W

·下磨拋盤轉速:1-240rpm(速度可調)

·擺臂速度檔位:1-15擋可調

·控制方式:觸摸屏

·設備外形尺寸:L550×W700×H420mm

·凈重:≈82Kg


GPC-100A 精密磨拋控制儀(機械手)

·載樣盤直徑:?103mm

·載樣盤軸向行程:12mm

·數顯表精度:0.001mm

·載樣盤可調加載壓力:0.1kg-2.0kg

·壓力確認儀有效量程:1-5000g

·樣品裝卡方式:真空吸附

·承載樣件尺寸:直徑≤103mm、厚度≤12mm

·外形尺寸: 外徑Φ146mm,高266mm


SKZD-2 滴料器(滾桶攪拌)

·設備供電端口:DC12 2A (標配電源適配器 IN:AC100-240V OUT:DC12V 2A)

·滴液工位(滴液泵):4個(1-4位轉換滴液)

·料液瓶容積:500ml/瓶

·驅動控制方式:精密步進電機+蠕動泵+單板機控制器

·滴液方式:蠕動定量滴液

·流量:0.1ml/min-10ml/min(速度可調)

·運行方式:定時運行:范圍:1-999min

·外形尺寸:L230×W370×H450mm


AP-1400V 無油真空泵

·設備供電端口:AC220V 50Hz 450W

·氣流量max:7.2m3/h

·真空度max:-700mmHg(-91KPa)

·噪音:≤60db

·熱保護器:自動復位 130℃±5℃

·外形尺寸:L204×W125×H181mm


應用提示

·設備供電為國標單相交流 220V 50Hz,實際供電參數以產品后部粘貼標牌為準。

·可按用戶要求定制各種磨拋盤,特殊載樣盤、卡具,專用零部件等


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