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500℃真空平板熱壓機(平板尺寸100×100~400×400mm,20-40T)
- 型號:
- YLJ-HPV-5-XX
- 產品概述:
- YLJ-VHP5 是一款真空平板熱壓機,專為晶圓鍵合、薄膜轉移和 LCP 層壓設計,加熱面積為 100 ×100 mm~400×400mm。其最高工作溫度為 500 ℃,最大壓力為 20T~40T。
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技術參數產品視頻實驗案例警示/應用提示配件詳情
基本參數
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產品型號 | ·YLJ-VHP5-4 | ·YLJ-VHP5-12 | ·YLJ-VHP5-16 | 電壓和功率 | ·AC 208 - 240 V, 50/60 Hz ·單相 2,000 W | ·AC 208 - 240 V, 50/60 Hz ·單相 5,000 W | ·AC 208 - 240 V, 50/60 Hz ·單相 6500 W | 加熱平板 (其他尺寸可定制) | ·100×100mm | ·300×300mm | ·400×400mm | 2個平板最大距離 | ·30mm | ·40mm | ·40mm | 腔體尺寸和容積 | ·525 L x 480 W x 450 H (mm) ·~ 75 L | ·614 L x 574 W x 514 H (mm) ·~ 170 L | ·700 L x650 W x 550H (mm) ·~250 L | 加熱平板承受最大壓力 | ·10T(500℃) ·20T (室溫) | ·20T(500℃) ·30T (室溫) | ·30T(500℃) ·40T (室溫) |
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真空平板熱壓機結構
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·2塊加熱平板最高工作溫度500℃,采用高溫合金制作 ·加熱元件插入加熱板的中心,以實現快速加熱。 ·2塊加熱板分別由2個溫控儀表獨立控溫,30段程序控溫 ·在加熱板的頂部和底部都安裝了水冷套管,以輔助散熱。進/出水管為外徑12mm聚氨酯管
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液壓泵
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·改良后的電動液壓機安裝在工作臺下方,并與一個真空腔室相連 ·壓缸最大行程15mm ·通過數字壓力表設置,自動壓力控制 ·壓力精度:+/-0.01 Mpa ( 0.1 kg/cm2) ·當溫度超過 200℃時,需要采用水冷方式(冷卻流量>16 L/min)來冷卻加熱板。
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溫度控制和壓力顯示
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·2塊加熱板分別由2個溫控儀表獨立控溫,30段程序控溫,控溫精度±1℃ ·溫度控制器具備 PID 自動校準功能、過熱保護以及斷熱電偶保護功能。 ·最高工作溫度:500℃(惰性氣氛或真空環境下) ·最高加熱速率:5℃/min ·控制面板內內置了一款數字壓力計(控制器)。您可以設定所需的壓力值,這樣就能使電動液壓機到達壓力值時自動恒壓。
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真空腔體
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·電動液壓機和加熱板被放置在真空室內部 ·真空室由 SS304 不銹鋼制成 ·安裝有一個真空密封門,直徑300mm,有一個直徑150mm的石英窗口,便于裝樣品和觀察 ·所有真空密封均使用硅橡膠 O 型圈 ·可選購安裝了一個數字真空計(10E-4Torr)測量真空腔室的真空度
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可選
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·可選購設備(需額外費用) ·需要一臺循環水冷機,用于對過熱的散熱板進行冷卻,以加快冷卻速度。 ·可選購真空泵,機械泵抽真空度300mTorr,分子泵系統抽真空度10-4Torr 
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應用注意
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·此款熱壓機也可用于測量熱電發電機模塊(頂部受熱,底部冷卻)
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