| 電源 | · 電壓：AC380V 三相 50/60Hz · 功率：8KW |
| 真空腔體 | · 不銹鋼（SS304）真空腔體：內徑 400mm×高度 450mm，表面處理為拋光 · 設有直徑100mm的觀察窗口 · 鉸鏈式門，便于樣品裝載 · 每個蒸發皿配備電動遮擋片 · 一個 ISO-100K 端口，用于與分子泵系統和閥連接 |
| 真空泵（可選） | · 260 L/s 分子泵系統 · 真空度: 5.0x10-6 Torr ( 抽真空40分鐘后 ) · 泄漏率: 5.0x10-7 Pa · 真空接口: DN 100 ISO-K · 需要一臺機械泵作為輔助泵，以初步達到＜ 1e-2 Torr的真空度水平
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| 蒸發源&樣品架 | · 6個蒸發源 · 2個鎢舟的蒸發源（采用水冷電極），無溫控，最高溫度可達1500℃ · 4個電阻加熱蒸發源，溫控型，最高溫度700℃
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| 原位薄膜測厚儀（可選） | · 石英晶體振蕩原位測厚 · 厚度測量的精度為 1.0 埃
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| 控制單元 | · 真空度、厚度和功率控制被整合到了一個控制箱中 · 控制單元與真空室相分離，便于移動 |
| 鍍膜儀在手套箱中（可選） | · 鍍膜儀可以放置在單體或雙體手套箱內，并通過滑動門進行操作 · 有關手套箱的更多詳細信息，請參見此處：VGB-6-II |
| 循環水冷機 | · 水冷：水流速> 16 L/min用于電極冷卻
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皖公網安備 34012302000974號
