| 設備名稱 | 帶有預熱系統的滑動PECVD—OTF-1200X-50-II-4CV-PE-MSL （2019.12.11—科晶實驗室審核） |
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| 產品提示 | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| 產品特點 | ? 與普通CVD相比較，其沉積溫度大大降低，減少了高溫對薄膜的損壞； ? 可通過爐體滑動來達到快速升溫和快速降溫的效果； ? 爐體有兩個溫區，可在爐體內形成溫度梯度，兩個溫區最大溫差為400℃； ? 帶有預熱爐，氣體可通過此爐預熱也可將液體蒸發氣化或固體原料升華后與氣體原料混合。 |
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| 加熱爐參數 | ? 連續工作最高溫度為1100℃ ? 兩個PID溫度控制器及50段可編程溫控系統，控溫精度：±1℃；兩個溫區最大溫差為：400℃ ? 內爐膛表面涂有美國進口的1760度高溫氧化鋁涂層，可以提高設備加熱效率及反射率，同時延長儀器的使用壽命。（點擊圖片查看詳細資料） ? 工作電源：208-240V AC單相，最大功率：4KW
更多參數請聯系科晶銷售部 |
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| 預熱爐參數 | ? 最高溫度：1100℃； ? PID溫度控制器及50段可編程溫控系統，控溫精度：±1℃； ? 氣體通過等離子射頻電源前，先通過預熱爐，也可將固體和液體原料放在預熱爐中，氣化后與氣體原料相混合
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| 電動滑軌 | ? 可將電動滑軌安裝在爐體下端，將爐體滑動，以達到快速升溫和快速降溫的效果 ? 滑動速度：0-70 mm/s（可調） |
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| 升降溫速率 | ? RS485接口和控溫軟件可安裝在爐體內，將控溫程序和溫度曲線導入電腦中（儀器中不包含，客戶需額外出費用在本公司購買） ? 為獲得最大的升溫速率，可將爐體升溫到設定溫度，然后將爐體滑到樣品放置區
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| 射頻電源 | ? 科晶公司現有不同功率的射頻電源可供選擇，以滿足不同實驗條件的需求。
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| 真空系統 | ? 采用TRP-12的雙旋真空泵； ? KF25卡箍及波紋管用于連接管式爐與真空泵； ? 真空度可達10-2Torr。
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| 供氣系統 | ? 四通道質子流量計控制系統可實現氣體流量的精確控制（精確度：±0.02%）； ? 流量范圍:
? 電壓：208-240V， AC， 50/60Hz； ? 氣體進出口配件：6mm OD的聚四氟管或不銹鋼管； ? 不銹鋼針閥用于手動控制氣體進出； ? PLC觸摸屏可以簡便地進行氣體流量設置。
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| 產品尺寸和重量 | ? 爐體尺寸：550mm L ′380mm W′520mm H ? 滑軌長度：1750 mm ? 凈重：220 Lbs |
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| 認證 | ? 如您另外付費，我們可以保證單臺儀器的TUV(UL61010)或CSA 認證
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| 承諾 | ? 一年質保期，終身維護（不包括爐管、硅膠密封圈和加熱元件） |
科晶應用技術實驗室利用PECVD在不同功率（75W、150W、300W）條件下沉積Sb2Se3薄膜，實驗結果如下：
組別 | SEM結果 | 元素百分比 | ||
Sb (%) | Se(%) | |||
未經任何處理的樣品 |
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| 40.01 | 59.99 |
等離子體處理 |
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| 41.04 | 58.96 |
等離子體處理 min |
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| 41.64 | 58.36 |
等離子體處理5 min |
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| 41.86 | 58.14 |
小結:
（1）等離子體能改變Sb2Se3薄膜的形貌，同時改變Sb2Se3的組成；
（2）隨著射頻電源功率的增加，Sb2Se3中的Se百分含量降低。
組別 | SEM結果 | 元素百分比 | ||
Sb (%) | Se(%) | |||
10W、條件下沉積Sb2Se3 |
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| 40.01 | 59.99 |
75W、條件下沉積Sb2Se3 |
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| 70.28 | 29.72 |
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| 43.13 | 56.87 | |
75W、且補充2粉末（10%質量比Sb2Se3）沉積Sb2Se3 |
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| Sn: 22.78 Sb: 25.77 | 51.44 |
小結:
（1）低功率等離子體條件下可得到近原子比的Sb2Se3；
（2）高壓條件下可得到富Sb的Sb2Se3薄膜；
（3）添加Se會破壞PECVD沉積的Sb2Se3的原子比；
（4）當SnSe2質量比為10%時，可以得到Sb：Sn摩爾比接近于的薄膜，該方法適用于摻雜。
XRD結果
警示 | ? 爐管內氣壓不可高于0.02 MPa； ? 由于氣瓶內部氣壓較高，所以向爐管內通入氣體時，氣瓶上必須安裝減壓閥，建議在本公司選購減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa，使用時會更加精確安全； ? 石英管的長時間使用溫度＜1100℃； ? 當爐體溫度高于1000℃時，爐管內不可處于真空狀態，爐管內的氣壓需和大氣壓相當，保持在常壓狀態。 |
應用技術提示 | ? 通入爐內氣體流量需小于200 sccm，以避免冷的大氣流對加熱石英管造成沖擊； ? 加熱時，不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥。若需要關閉氣閥對樣品加熱，則需時刻關注壓力表的示數，若氣壓表示數大于0.02 MPa，需立刻打開泄氣閥，以防意外發生（如爐管破裂、法蘭飛出等）。 |
防腐型真空表 （可選） | ? 輸入電源24V，1A DC（配有電壓轉換器）； ? 測量范圍3.8′10-5-1125 Torr； ? 數據顯示：數顯（屏幕尺寸為20′14mm），其單位為torr ? 連接：1/8"NPT 接頭 ? 產品尺寸 46mm×28mm×126mm ( L′W′ H)
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爐管 | ? 石英管尺寸：50mm OD′44mm ID′2200mm L
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溫儀表 （可選） | ? 單回路、雙回路和三回路控制模式； ? 每個回路可實現雙輸入，雙保護； ? 各回路可PID、串級、比率等回路控制； ? 數碼顯示，配備7個按鍵，可用于進行各控制回路的切換和參數修改； ? 最多可存儲50個程序，每個程序最多可有3個不同的設定值（即3條不同的曲線），最多可設置500段升降溫程序； ? 通訊方式多樣，Modbus/Profibus DP/DeviceNet/EI-Bisync/RS485通訊接口，可連接PC進行遠程控制。
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真空系統 （可選） | ? 科晶公司提供一系列低真空、高真空及進口高真空設備，以滿足在不同真空條件下的實驗需求。
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供氣系統 （可選） | ? 科晶公司提供各種通道浮子、質子流量計可供選擇，以實現氣體流量的精確控制。
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