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1200℃五面加熱氫氣箱式爐(爐膛尺寸:500*500*500mm)
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1400℃箱式爐(硅碳棒,容積: 64L, 爐膛尺寸:400*400*400mm)
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1100℃小型箱式熱重分析爐(配高精度集成稱量系統(tǒng)、定制石英承燒板)
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2600℃高真空快速升溫熱壓爐(200℃/S,標準、加壓和可視化法蘭上蓋,壓力0-50kg)
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1700℃十二溫區(qū)開啟式管式爐(1400mm加熱區(qū),管徑100mm)
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小型自動化壓片系統(tǒng)(4個樣品,最大壓力8T)
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自動化6通道粉料分配系統(tǒng)(6個固態(tài)源,1個液體源)
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2000℃手套箱感應熔煉系統(tǒng)(15KW感應電源,水氧含量《0.1PPM)
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反射膜厚儀
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EQ-W2000-LD
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EQ-W1000-LD
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EQ-W1000-Sensor-LD
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1200℃自動化智能化CVD系統(tǒng)(化學氣相沉積系統(tǒng):含自動化管式爐,4通道混氣裝置和低真空恒壓控制真空機組)
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自動循環(huán)氣體凈化系統(tǒng)(O2<1ppm,帶溫控系統(tǒng))
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自動循環(huán)氣體凈化系統(tǒng)(O2&H2O<1ppm,用于手套箱)
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小型不銹鋼真空手套箱(帶有自動氣壓控制系統(tǒng))
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自動循環(huán)水分凈化系統(tǒng)(H2O<2ppm,用于手套箱)
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小型可移動干房(9m2,帶有自清潔管道)
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空氣凈化器&硫化物過濾器(用于移動式小型干房)
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除濕系統(tǒng)&循環(huán)水冷(用于移動式干房)
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133L/min循環(huán)水冷機(制冷量14.5KW)
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氧化還原液流電池&電解測試堆(Ti板和蛇形通道)
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1800℃高溫箱式爐(爐膛尺寸:300*400*300mm , 容積:36L)
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1800℃箱式爐(腔體尺寸:250*300*250mm ,18.75L)