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1200℃真空密封坩堝移動管式爐(手動)
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50mL雙罐旋轉反應釜 (230℃,壓力范圍3-10MPa)
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1700℃小型高溫箱式爐 (1.7L,爐腔尺寸:120*120*120mm)
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高通量4工位管式爐 (1200℃,80mm石英管)
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1200℃小型雙溫區開啟式管式爐(含樣品移動模塊)
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1200℃雙爐體(管徑80mm)滑動TCVD系統
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300mm寬平板擠壓涂布機
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磁控濺射蒸發鍍膜儀
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磷酸鈦鋁鋰固體電解質片(Li1.3Al0.3Ti1.7P3O12)
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1200℃小型四溫區開啟式管式爐
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200℃電動軋輥/平板熱軋機 (寬200mm,可在氬氣環境中使用)
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全自動雙爐滑動CVD系統(1200℃Max)
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1200℃雙溫區旋轉管式氫氣爐 (異形爐管容積:Φ127*280mm)
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1600℃雙通道超聲霧化CVD管式爐
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1700℃高溫取樣箱式爐(8L,爐腔尺寸:200*200*200mm)
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小型真空箱式爐 (6L,1050℃,配溫度控制器)
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1200℃滑動管式爐(管徑130mm)
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可連續型全自動氣淬管式爐
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小型分體式磁控濺射儀(50mm靶頭,可選直流或射頻電源,手套箱內可用)
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STX-600系列金剛石線切割機
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1500℃三溫區回轉爐(配自動進料和接收系統)
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PECVD系統
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500oC&5T精密電動無油平板熱壓機 (135mmx135mm)
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立式管式爐