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  • 1600℃超聲霧化CVD管式爐
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  • 1600℃Mist/LPCVD系統(216mm石英腔室)
  • 200℃異步垂直熱軋機 (壓力顯示,100*100mm)
  • 滑動式三溫區管式爐PECVD系統
  • 管徑130滑動式單溫區管式爐PECVD系統
  • 三溫區搖擺管式爐
  • 加熱型輥壓機(含收放卷)
  • 1700℃高溫箱式爐(雙儀表監測,125L,爐腔尺寸:500*500*500mm)
  • 1000℃微型管式爐 (帶20mm管和真空法蘭)
  • 1600℃一體式管式爐,帶真空法蘭和閥門,可選60或80mm氧化鋁管
  • 1100℃雙溫區管式爐(可選279mm石英管和真空法蘭,加熱區300*300mm)
  • 1100℃三溫區管式爐 (可選216mm或279mm石英管,加熱區300*300*300mm)
  • 1200℃小型分體式 箱式爐 (爐體與溫控臺分離, 4.2L,150*180*155mm)
  • 400℃真空/氣氛區熔爐
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